产品介绍: 放置 41片4时蓝宝石衬底,用于生长LED 用蓝绿光外延片 适用机型: PRISMO UniMax A8 产品参数: 基材:等静压石墨(纯度>6N) 涂层:B-SiC(厚度=100士10 μm)